- Elektronenstrahlverfahren
- n <emiss.verf> (DeNOx) ■ electron beam irradiation system; electron beam dry scrubbing
German-english technical dictionary. 2013.
German-english technical dictionary. 2013.
Trockenätzen — Unter dem Begriff Trockenätzen fasst man in der Halbleitertechnologie und in der Mikrosystemtechnik eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren zusammen, die nicht auf nasschemischen Reaktionen (wie nasschemisches Ätzen,… … Deutsch Wikipedia